Thermische
Gasreinigung

Wassergespülte
und gekühlte
Brennkammer

Hocheffizienter
und intelligenter
Brenner

Optionale
Zudosierung von
Neutralisations-
medium

Wäscherstufe für
wasserlösliche
Gase und Partikel

Mithilfe von sehr hohen Temperaturen werden die Schadgase zunächst aufgespalten und anschließend in der Nassstrecke ausgewaschen. Unsere drei verschiedenen Systeme erzielen dabei immer die nachhaltigsten Ergebnisse.

01

Brenner-Wäscher CT-BW zur Abgasreinigung

Informationen
  • Hohe Reinigungseffizienz für Prozessgase – insbesondere für klimaschädliche PFCs
  • Zuverlässige Entsorgung von staub- und gasförmigen Nebenprodukten
  • Sicherer und ressourcenschonender Betrieb unter anspruchsvollen Prozessbedingungen
Highlights
  • Minimale Betriebskosten durch prozessabhängige Regulierung der Leistung
  • Hochflexible Anlagenkonfiguration – abgestimmt auf Ihre Prozessanforderungen
  • Geringer Wartungsaufwand bei höchster Anlagenverfügbarkeit > 98 %
  • Umfangreiche Sicherheitsfeatures standardmäßig integriert
  • Qualität Made in Germany
Ausstattung
  • Bis zu vier parallele CT-BW-Systeme an einem Steuerschrank
  • Benutzerspezifische Backup-Konfigurationen
  • Monitoring Software
Branchen
  • Halbleiterindustrie
  • Photovoltaikindustrie
  • LED-Industrie
  • Universitäten und Forschungseinrichtungen
  • Chemie-Industrie
  • Industriegas-Hersteller
  • uvm.

02

Plasma-Wäscher CT-PW zur Abgasreinigung

Informationen
  • Geeignet zur Abgasbehandlung von CVD- und Ätzprozessen
  • Hohe Reinigungseffizienz für Prozessgase – insbesondere für klimaschädliche PFCs
  • Zuverlässige Entsorgung von staub- und gasförmigen Nebenprodukten
Highlights
  • Intelligente Steuerung für niedrige Betriebskosten
  • Keine Brenngasversorgung zum Betrieb notwendig
  • Hochflexible Anlagenkonfiguration – abgestimmt auf Ihre Prozessanforderungen
  • Lange Wartungsintervalle und hohe Uptime
  • Umfangreiche Sicherheitsfeatures standardmäßig integriert
  • Qualität Made in Germany
Ausstattung
  • Umfangreiche prozessspezifische Ausstattungsfeatures
  • Bewährte thermische Plattform mit wassergespültem Reaktor
Branchen
  • Halbleiterindustrie
  • Photovoltaikindustrie
  • LED-Industrie
  • Universitäten und Forschungseinrichtungen
  • Chemie-Industrie
  • Industriegas-Hersteller
  • uvm.

03

Thermischer Oxidizer CT-TW zur Abgasreinigung

Informationen
  • Elektrisch beheiztes Abgasreinigungssystem mit integriertem Nasswäscher
  • Elektrischer Heizer sorgt für eine zuverlässig hohe Temperatur in der Brennkammer
  • Zum Betrieb der Anlage werden nur Strom, Stickstoff, Frisch- und Kühlwasser benötigt
Highlights

  • Niedrige Betriebs- und Installationskosten

  • Keine Brenngas- und Sauerstoffversorgung erforderlich

  • Lange Wartungsintervalle und hohe Uptime

  • Geringe Ersatz- und Verschleißteilkosten

  • Flexibles Design je nach Kundenanforderungen

  • Qualität Made in Germany

Ausstattung
  • Benutzerspezifische Backup-Konfigurationen
Branchen
  • Halbleiterindustrie
  • Photovoltaikindustrie
  • LED-Industrie
  • Universitäten und Forschungseinrichtungen
  • Chemie-Industrie
  • Industriegas-Hersteller
  • uvm.
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Wir beraten Sie persönlich

Jede unserer Reinigungsanlagen lässt sich individuell Ihren Anforderungen anpassen. Unser Team wirft im persönlichen Gespräch einen ausführlichen Blick auf Ihre Industrieanlage und empfiehlt Ihnen die geeignete Abgasbehandlung.

Thomas Kraus
Vertrieb Europa

T +49 7344 92494-114
M thomas.kraus@centrotherm-cs.de